摘要：本實用新型公開了一種牽引級復(fù)合分子泵，包括：泵殼固定設(shè)在底盤上；主軸座設(shè)在底盤上，主軸經(jīng)主軸座設(shè)在底盤上，主軸頂端設(shè)在泵殼內(nèi)；電機驅(qū)動主軸；轉(zhuǎn)子體固定設(shè)在泵殼內(nèi)的主軸上，轉(zhuǎn)子體外周上沿軸向固定設(shè)置至少一層渦輪動葉片；沿轉(zhuǎn)子體軸向設(shè)置至少一層渦輪靜葉片，渦輪靜葉片通過隔離環(huán)固定在泵殼上，渦輪靜葉片與轉(zhuǎn)子體外周上設(shè)置的渦輪動葉片交替排列；轉(zhuǎn)子體內(nèi)設(shè)有筒式牽引級轉(zhuǎn)子，筒式牽引級轉(zhuǎn)子內(nèi)設(shè)置筒式牽引級定子，筒式牽引級定子與筒式牽引級轉(zhuǎn)子具有配合間隙；筒式牽引級定子與筒式牽引級轉(zhuǎn)子之間設(shè)有螺旋狀導(dǎo)流槽，螺旋狀導(dǎo)流槽的出口與主軸座上設(shè)置的排氣口連接。其抽速大、壓縮比高和前級抗壓能力較強，是高性能復(fù)合分子泵。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人董欣;郁晉軍;于天化;
- 地址102600 北京市大興區(qū)大興工業(yè)開發(fā)區(qū)前高米店盛坊路儀器儀表基地
- 申請?zhí)?/b>CN201320287090.8
- 申請時間2013年05月23日
- 申請公布號CN203308733U
- 申請公布時間2013年11月27日
- 分類號F04D19/04(2006.01)I;F04D29/32(2006.01)I;F04D29/52(2006.01)I;
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