摘要：一種磁懸浮分子泵及其控制方法、制造方法，所述磁懸浮分子泵包括泵體和設置在所述泵體內(nèi)的轉子軸系；所述轉子軸系包括轉子、第一徑向磁軸承、第二徑向磁軸承、第一軸向磁軸承和第二軸向磁軸承；所述轉子包括轉子軸和與所述轉子軸固定的葉輪；所述轉子軸的中部依此間隔地套設有所述第一徑向磁軸承和所述第二徑向磁軸承；常態(tài)下，轉子質心設置于所述轉子軸的軸線上并與所述第一徑向傳感器的質心重合。本發(fā)明提供的磁懸浮分子泵基本實現(xiàn)轉子的平動和轉動兩種運動相互解耦，可分別對上述兩種運動進行調(diào)整控制，從而簡化了控制過程，降低了控制難度、提高了磁懸浮分子泵系統(tǒng)控制效率和穩(wěn)定性。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;清華大學;
- 發(fā)明人張剴;武涵;李奇志;張小章;鄒蒙;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關村北二條13號
- 申請?zhí)?/b>CN201110167633.8
- 申請時間2011年06月21日
- 申請公布號CN102242722B
- 申請公布時間2013年12月18日
- 分類號F04D19/04(2006.01)I;F04D27/00(2006.01)I;
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