摘要：一種磁懸浮分子泵及其控制方法、制造方法，所述磁懸浮分子泵包括泵體和設(shè)置在所述泵體內(nèi)的轉(zhuǎn)子軸系；所述轉(zhuǎn)子軸系包括轉(zhuǎn)子、第一徑向磁軸承、第二徑向磁軸承、第一軸向磁軸承和第二軸向磁軸承；所述轉(zhuǎn)子包括轉(zhuǎn)子軸和與所述轉(zhuǎn)子軸固定的葉輪；所述轉(zhuǎn)子軸的中部依此間隔地套設(shè)有所述第一徑向磁軸承和所述第二徑向磁軸承；常態(tài)下，轉(zhuǎn)子質(zhì)心設(shè)置于所述轉(zhuǎn)子軸的軸線上并與所述第一徑向傳感器的質(zhì)心重合。本發(fā)明提供的磁懸浮分子泵基本實現(xiàn)轉(zhuǎn)子的平動和轉(zhuǎn)動兩種運動相互解耦，可分別對上述兩種運動進行調(diào)整控制，從而簡化了控制過程，降低了控制難度、提高了磁懸浮分子泵系統(tǒng)控制效率和穩(wěn)定性。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;清華大學(xué);
- 發(fā)明人張剴;武涵;李奇志;張小章;鄒蒙;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條13號
- 申請?zhí)?/b>CN201110167633.8
- 申請時間2011年06月21日
- 申請公布號CN102242722B
- 申請公布時間2013年12月18日
- 分類號F04D19/04(2006.01)I;F04D27/00(2006.01)I;
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