摘要:本實(shí)用新型涉及一種渦輪分子泵保護(hù)裝置,包括活塞、保護(hù)器本體;活塞通過(guò)彈簧與保護(hù)器本體連接,保護(hù)器本體具有與前級(jí)泵連接的接入口,接入口與保護(hù)器本體內(nèi)部的空腔連通;保護(hù)器泵體之外固定設(shè)置接線盒,接線盒上設(shè)有彈性觸點(diǎn);當(dāng)接入口接入分子泵前級(jí)真空系統(tǒng),且前級(jí)泵啟動(dòng)時(shí),活塞在壓差作用下運(yùn)動(dòng),活塞的突出部分與接線盒上面的彈性觸點(diǎn)接觸,使兩觸點(diǎn)導(dǎo)通,此開(kāi)關(guān)信號(hào)作為渦輪分子泵的啟動(dòng)信號(hào);當(dāng)前級(jí)真空系統(tǒng)故障時(shí),內(nèi)外壓差不足以使活塞與本體緊密接觸,在彈簧的作用力下分離,此時(shí)兩觸點(diǎn)之間不能導(dǎo)通,渦輪分子泵隨即自行停機(jī)而受到保護(hù)。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人上海舜宇恒平科學(xué)儀器有限公司;
- 發(fā)明人王華;董小魯;吳亮亮;王岳東;
- 地址201103 上海市閔行區(qū)合川路3071號(hào)-1075
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201620036688.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年01月15日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN205592163U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年09月21日
- 分類號(hào)F04D19/04(2006.01)I;F04D27/00(2006.01)I;F04D29/08(2006.01)I;




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