摘要：一種大流量復(fù)合分子泵，抽氣系統(tǒng)由渦輪動(dòng)片及牽引級(jí)組成，通過軸套固定在泵主軸上，泵主軸由上軸承和下軸承共同支撐。本實(shí)用新型適用于磁控濺射設(shè)備配套，設(shè)計(jì)合理，經(jīng)濟(jì)實(shí)用，強(qiáng)度高、安全性能好，提高了泵的抗氣體沖擊能力同時(shí)渦輪級(jí)減少，降低了對(duì)氣體的壓縮比，也減少了氣體的摩擦發(fā)熱，為大流量復(fù)合分子泵長(zhǎng)期中真空狀態(tài)創(chuàng)造條件，又因其結(jié)構(gòu)特征泵的成本低、體積更矮、更方便安裝。具有一定經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。
- 專利類型實(shí)用新型
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- 發(fā)明人葛明;羅進(jìn)軍;閻亞林;
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- 申請(qǐng)時(shí)間2012年02月21日
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- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年11月21日
- 分類號(hào)F04D19/04(2006.01)I;
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