摘要：本發(fā)明公開了一種高性能復合分子泵，包括泵殼、轉(zhuǎn)子體、底盤、油池座等，轉(zhuǎn)子體與電機主軸固定連接，該分子泵自進氣口至排氣口由渦輪葉片級與筒式牽引級串聯(lián)而成；渦輪葉片級包括設(shè)于轉(zhuǎn)子體上的渦輪動葉片和設(shè)于隔離環(huán)上的渦輪靜葉片；筒式牽引級包括設(shè)于轉(zhuǎn)子體與牽引級定子之間的螺旋導流槽；隔離環(huán)和牽引級定子固定于所述泵殼上?？梢酝瑫r兼?zhèn)浯蟪樗俸透邏嚎s比，并具有較強的前級抗壓能力，可獲得高真空與超高真空。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責任公司;
- 發(fā)明人郁晉軍;董欣;于天化;
- 地址102600 北京市大興工業(yè)開發(fā)區(qū)前高米店盛坊路儀器儀表基地
- 申請?zhí)?/b>CN201210057294.2
- 申請時間2012年03月06日
- 申請公布號CN102536853A
- 申請公布時間2012年07月04日
- 分類號F04D19/04(2006.01)I;F04D29/38(2006.01)I;F04D29/54(2006.01)I;F04D29/00(2006.01)I;
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