摘要：本實(shí)用新型公開一種向真空室內(nèi)同軸引入動力和冷卻水的轉(zhuǎn)軸裝置，包括轉(zhuǎn)軸（1），所述轉(zhuǎn)軸（1）上沿軸向方向設(shè)置有可對真空室進(jìn)行密封的動密封裝置以及可帶動所述轉(zhuǎn)軸（1）轉(zhuǎn)動的驅(qū)動裝置，所述轉(zhuǎn)軸（1）靠近所述驅(qū)動裝置的一端連接有旋轉(zhuǎn)水套（18），所述轉(zhuǎn)軸（1）中形成有沿軸向方向延伸的進(jìn)水通道（26）和出水通道（27）；所述進(jìn)水通道（26）和所述出水通道（27）的一端分別與所述旋轉(zhuǎn)水套（18）的進(jìn)水口（19）和出水口（23）相通，另一端可分別與真空室內(nèi)的生熱部件的冷卻水腔室相通，該轉(zhuǎn)軸裝置能夠向真空室引入旋轉(zhuǎn)動力并保持真空室良好密封的同時，對真空室內(nèi)的生熱部件進(jìn)行相應(yīng)的冷卻降溫。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;
- 發(fā)明人曹桂英;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條13號
- 申請?zhí)?/b>CN201320102377.9
- 申請時間2013年03月06日
- 申請公布號CN203239741U
- 申請公布時間2013年10月16日
- 分類號F16C3/02(2006.01)I;F16C35/08(2006.01)I;F16J15/16(2006.01)I;F16J15/43(2006.01)I;
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