摘要：本實(shí)用新型是一種用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，包括第一連接座，與電子顯微鏡的待抽真空口固定連接；第二連接座，與所述第一連接座相對(duì)設(shè)置，且與真空泵的抽氣口連接；彈性隔離管，安裝于所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述待抽真空口和所述抽氣口連通；支撐隔振柱（4），用于承重和吸振，設(shè)置在所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述第一連接座和所述第二連接座的端面固定連接。本實(shí)用新型通過采用吸收真空泵振動(dòng)的方式有效降低了真空泵振動(dòng)對(duì)電子顯微鏡成像分辨率的影響。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京中科科儀股份有限公司;
- 發(fā)明人張軍安;耿俊清;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條13號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201320093101.9
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年02月28日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203103260U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年07月31日
- 分類號(hào)H01J37/02(2006.01)I;
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