摘要：本發(fā)明公開了一種支撐腳裝置，包括支撐環(huán)及沿支撐環(huán)圓周上方滑槽安裝的若干支撐腳本體，支撐腳本體與支撐環(huán)之間通過磁性接觸方式形成軟性連接，可沿支撐環(huán)圓周任意調節(jié)安裝位置及對心距離，避免機械手在觸碰時造成損壞；采用環(huán)形支撐面結構，使支撐面相對后移，可縮小支撐環(huán)直徑，避免晶片從支撐環(huán)的內徑處跌落，并可實現360度自動對心。本發(fā)明具有結構簡單、易實現、可不受設備結構限制、節(jié)省設備空間的顯著優(yōu)點。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人李廣義;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201510142610.X
- 申請時間2015年03月27日
- 申請公布號CN104733366A
- 申請公布時間2015年06月24日
- 分類號H01L21/683(2006.01)I;F16M7/00(2006.01)I;
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