摘要：本發(fā)明公開了一種單片清洗設(shè)備中的硅片夾持裝置，涉及硅片清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括：夾持裝置主體(1)、以及用于固定和支撐硅片的硅片固定凸臺(2)，所述夾持裝置主體(1)上、在所述硅片固定凸臺(2)上方的位置設(shè)有至少一個工藝壓差加速孔(3)，所述工藝壓差加速孔(3)用于在所述硅片固定凸臺(2)夾持硅片處產(chǎn)生壓差。本發(fā)明利用伯努利效應(yīng)，在硅片夾持裝置上設(shè)置工藝壓差加速孔，使得工藝壓差加速孔靠近卡盤旋轉(zhuǎn)中心側(cè)與遠離中心側(cè)的位置之間產(chǎn)生壓力差，使工藝壓差加速孔從里向外產(chǎn)生吹氣效果，能夠有效的去除硅片夾持裝置與硅片被夾持位置死區(qū)處的顆粒，改善對硅片的清洗效果。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人王波雷;吳儀;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201110365941.1
- 申請時間2011年11月17日
- 申請公布號CN102403254B
- 申請公布時間2014年05月14日
- 分類號H01L21/683(2006.01)I;
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