摘要：本發(fā)明公開了一種單片清洗設備中的硅片夾持裝置，涉及硅片清洗設備技術領域，包括：夾持裝置主體(1)、以及用于固定和支撐硅片的硅片固定凸臺(2)，所述夾持裝置主體(1)上、在所述硅片固定凸臺(2)上方的位置設有至少一個工藝壓差加速孔(3)，所述工藝壓差加速孔(3)用于在所述硅片固定凸臺(2)夾持硅片處產(chǎn)生壓差。本發(fā)明利用伯努利效應，在硅片夾持裝置上設置工藝壓差加速孔，使得工藝壓差加速孔靠近卡盤旋轉中心側與遠離中心側的位置之間產(chǎn)生壓力差，使工藝壓差加速孔從里向外產(chǎn)生吹氣效果，能夠有效的去除硅片夾持裝置與硅片被夾持位置死區(qū)處的顆粒，改善對硅片的清洗效果。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人王波雷;吳儀;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201110365941.1
- 申請時間2011年11月17日
- 申請公布號CN102403254A
- 申請公布時間2012年04月04日
- 分類號H01L21/683(2006.01)I;
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