摘要：本發(fā)明公開了一種盤狀物夾持裝置，涉及半導(dǎo)體晶片工藝技術(shù)領(lǐng)域，該裝置包括：卡盤主體、凸輪、轉(zhuǎn)軸、至少三個(gè)夾持部件，所述轉(zhuǎn)軸安裝在所述卡盤主體上，且與所述卡盤主體共軸線，用于帶動(dòng)所述卡盤主體旋轉(zhuǎn)，所述凸輪可旋轉(zhuǎn)地安裝在所述卡盤主體上，且與所述卡盤主體共軸線，所述夾持部件安裝在所述卡盤主體上，其非夾持端通過限位擋塊頂在所述凸輪的活動(dòng)面上，所述限位擋塊用于在所述凸輪隨卡盤主體轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，沿所述卡盤主體徑向固定所述夾持部件，所述活動(dòng)面用于在所述凸輪相對(duì)卡盤主體轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，使所述夾持部件沿所述卡盤主體徑向向外移動(dòng)。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了在不損壞被夾持物的情況下對(duì)盤狀物的夾持；且不限定機(jī)械手的夾持位置。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人張豹;李偉;張曉紅;王銳廷;吳儀;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2號(hào)樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201110365937.5
- 申請(qǐng)時(shí)間2011年11月17日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102437079B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年11月13日
- 分類號(hào)H01L21/683(2006.01)I;
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