摘要：本發(fā)明涉及大理石高精密運動平臺，X軸直線導軌和X軸直線電機安裝于X軸大理石底座上，X軸連接板置于X軸直線導軌上，X軸直線電機與X軸連接板驅動連接，控制X軸連接板沿X軸直線導軌運動；Y軸直線導軌和Y軸直線電機安裝于Y軸大理石底座上，Y軸連接板置于Y軸直線導軌上，Y軸直線電機與Y軸連接板驅動連接，控制Y軸連接板沿Y軸直線導軌運動；Y軸大理石底座連接于X軸連接板上，Y軸直線導軌與X軸直線導軌呈90度夾角；石英載臺安裝于旋轉DD馬達上，旋轉DD馬達安裝于Y軸連接板上。運動安靜、噪音低，X?Y軸平臺可拆分，配對方便，達到模塊化設計要求。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人蘇州德龍激光股份有限公司;江陰德力激光設備有限公司;
- 發(fā)明人趙裕興;李軍;
- 地址215021 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹中路77號
- 申請?zhí)?/b>CN201410660405.8
- 申請時間2014年11月19日
- 申請公布號CN104362228B
- 申請公布時間2017年03月15日
- 分類號H01L33/00(2010.01)I;H01L21/78(2006.01)I;
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