摘要：本實(shí)用新型涉及大理石高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，X軸直線導(dǎo)軌和X軸直線電機(jī)安裝于X軸大理石底座上，X軸連接板置于X軸直線導(dǎo)軌上，X軸直線電機(jī)與X軸連接板驅(qū)動(dòng)連接，控制X軸連接板沿X軸直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；Y軸直線導(dǎo)軌和Y軸直線電機(jī)安裝于Y軸大理石底座上，Y軸連接板置于Y軸直線導(dǎo)軌上，Y軸直線電機(jī)與Y軸連接板驅(qū)動(dòng)連接，控制Y軸連接板沿Y軸直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；Y軸大理石底座連接于X軸連接板上，Y軸直線導(dǎo)軌與X軸直線導(dǎo)軌呈90度夾角；石英載臺(tái)安裝于旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)上，旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)安裝于Y軸連接板上。運(yùn)動(dòng)安靜、噪音低，X-Y軸平臺(tái)可拆分，配對(duì)方便，達(dá)到模塊化設(shè)計(jì)要求。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人蘇州德龍激光股份有限公司;江陰德力激光設(shè)備有限公司;
- 發(fā)明人趙裕興;李軍;
- 地址215021 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹中路77號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201420694154.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年11月19日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN204179100U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年02月25日
- 分類號(hào)H01L33/00(2010.01)I;H01L21/78(2006.01)I;
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