摘要:本實用新型涉及一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上雙面導(dǎo)電膜層的裝置,所述裝置包含有激光刻蝕設(shè)備,所述激光刻蝕設(shè)備包含有激光器(1)、光閘(2)、1/2波片(3)、格蘭棱鏡(4)、擴束鏡(5)、全反鏡片(6)、振鏡系統(tǒng)(7)和遠(yuǎn)心場鏡(8),所述激光器(1)發(fā)出的激光經(jīng)過電動光閘(2)進(jìn)入擴束鏡(5)進(jìn)行同軸擴束,經(jīng)擴束鏡(5)擴束后的激光到達(dá)全反鏡片(6),經(jīng)全反鏡片(6)反射后的激光經(jīng)由1/2波片(3)和格蘭棱鏡(4)后射入振鏡系統(tǒng)(7),射出振鏡系統(tǒng)(7)經(jīng)遠(yuǎn)心場鏡(8)聚焦到作為待加工件(12)的有機玻璃的導(dǎo)電膜層上。本實用新型涉及一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上雙面導(dǎo)電膜層的裝置,加工簡單、效率高且無需耗材。
- 專利類型實用新型
- 申請人江陰德力激光設(shè)備有限公司;
- 發(fā)明人趙裕興;狄建科;張偉;益凱劼;張子國;蔡仲云;閆華;
- 地址214434 江蘇省無錫市江陰市城東街道金山路201號數(shù)碼港C座1樓
- 申請?zhí)?/b>CN201220266390.3
- 申請時間2012年06月07日
- 申請公布號CN202667928U
- 申請公布時間2013年01月16日
- 分類號B23K26/36(2006.01)I;B23K26/04(2006.01)I;B23K26/03(2006.01)I;B23K26/14(2006.01)I;




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