摘要：本發(fā)明涉及一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上雙面導(dǎo)電膜層的裝置，所述裝置包含有激光刻蝕設(shè)備，所述激光刻蝕設(shè)備包含有激光器（1）、光閘（2）、1/2波片（3）、格蘭棱鏡（4）、擴(kuò)束鏡（5）、全反鏡片（6）、振鏡系統(tǒng)（7）和遠(yuǎn)心場鏡（8），所述激光器（1）發(fā)出的激光經(jīng)過電動(dòng)光閘（2）進(jìn)入擴(kuò)束鏡（5）進(jìn)行同軸擴(kuò)束，經(jīng)擴(kuò)束鏡（5）擴(kuò)束后的激光到達(dá)全反鏡片（6），經(jīng)全反鏡片（6）反射后的激光經(jīng)由1/2波片（3）和格蘭棱鏡（4）后射入振鏡系統(tǒng)（7），射出振鏡系統(tǒng)（7）經(jīng)遠(yuǎn)心場鏡（8）聚焦到作為待加工件（12）的有機(jī)玻璃的導(dǎo)電膜層上。本發(fā)明涉及一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上雙面導(dǎo)電膜層的裝置，加工簡單、效率高且無需耗材。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人江陰德力激光設(shè)備有限公司;
- 發(fā)明人趙裕興;狄建科;張偉;益凱劼;張子國;蔡仲云;閆華;
- 地址214434 江蘇省無錫市江陰市城東街道金山路201號(hào)數(shù)碼港C座1樓
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210185858.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年06月07日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102744521A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年10月24日
- 分類號(hào)B23K26/36(2006.01)I;B23K26/04(2006.01)I;B23K26/03(2006.01)I;B23K26/14(2006.01)I;
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