摘要:本實(shí)用新型涉及用于刻蝕電子產(chǎn)品上銀漿的裝置,高頻率短脈沖激光器的輸出端布置有光閘,光閘的輸出端設(shè)置有擴(kuò)束鏡,擴(kuò)束鏡的輸出端依次布置有1/2波片和格蘭棱鏡,格蘭棱鏡的輸出端布置有45度全反射鏡,45度全反射鏡的輸出端依次布置有振鏡和掃描場(chǎng)鏡,掃描場(chǎng)鏡正對(duì)于四軸吸附平臺(tái),四軸吸附平臺(tái)上安裝有同軸吹吸氣集塵系統(tǒng),四軸吸附平臺(tái)對(duì)角位置分別安裝有CCD對(duì)位觀察系統(tǒng)。采用高頻率紅外脈沖激光器作為激光源,通過(guò)對(duì)角線CCD抓靶加工材料的靶標(biāo)位置,確定加工圖形與平臺(tái)上的樣品位置一一對(duì)應(yīng),對(duì)不同觸摸屏產(chǎn)品中不可視區(qū)域銀漿或者銅薄膜或鉬鋁鉬層進(jìn)行蝕刻,使不可視區(qū)域的薄膜材料在高頻率短脈沖紅外激光器作用下氣化而達(dá)到蝕除目的。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人蘇州德龍激光有限公司;江陰德力激光設(shè)備有限公司;
- 發(fā)明人趙裕興;狄建科;張偉;
- 地址215021 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹中路77號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201120158366.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2011年05月18日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN202123319U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年01月25日
- 分類(lèi)號(hào)B23K26/36(2006.01)I;B23K26/04(2006.01)I;B23K26/14(2006.01)I;




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