摘要：本實(shí)用新型公開了一種基于表面光電壓法的半導(dǎo)體材料參數(shù)測試儀，該測試儀包括箱體、懸臂、測量探頭、樣品臺(tái)，測量探頭內(nèi)包括紅外激光器、感應(yīng)電極片。脈沖光源驅(qū)動(dòng)器位于箱體內(nèi)，待測半導(dǎo)體材料樣品放置在樣品臺(tái)上，測量探頭在待測樣品的正上方，感應(yīng)電極片與電荷放大器之間通過同軸電纜線連接，紅外激光器與脈沖光源驅(qū)動(dòng)器之間通過兩芯屏蔽線連接。其測試方法是：紅外激光器發(fā)射的脈沖光垂直照射在樣品上，感應(yīng)電極片接收樣品表面微弱光電壓產(chǎn)生的靜電荷，并傳送至電荷放大器的輸入端，經(jīng)信號處理電路處理后，由液晶顯示屏顯示待測樣品的導(dǎo)電類型及電阻率/方阻數(shù)值。本實(shí)用新型具有體積小、重量輕、功耗小、成本低的優(yōu)點(diǎn)。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人廣州市昆德科技有限公司;
- 發(fā)明人王昕;馮小明;田蕾;
- 地址510650 廣東省廣州市天河區(qū)白沙水路123號東門三樓
- 申請?zhí)?/b>CN201320554914.3
- 申請時(shí)間2013年09月06日
- 申請公布號CN203433085U
- 申請公布時(shí)間2014年02月12日
- 分類號G01R31/26(2014.01)I;
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