摘要：本實(shí)用新型公開了一種掃描式微波反射法載流子復(fù)合壽命測(cè)試系統(tǒng)，該測(cè)試系統(tǒng)包括脈沖激光系統(tǒng)、微波系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、掃描運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，測(cè)試控制系統(tǒng)和探頭，掃描運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)用于將探頭進(jìn)行三維定位，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)分別與掃描運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、測(cè)試控制系統(tǒng)相連，用于根據(jù)測(cè)試控制系統(tǒng)指令驅(qū)動(dòng)掃描運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)作；脈沖激光系統(tǒng)、微波系統(tǒng)均設(shè)置在探頭內(nèi)，微波系統(tǒng)與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)相連，數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和測(cè)試控制系統(tǒng)相連。脈沖激光系統(tǒng)產(chǎn)生脈沖式的紅外激光，穿過微波系統(tǒng)中微帶天線的中間開孔垂直照射在樣品臺(tái)上的被測(cè)樣品表面。本實(shí)用新型可對(duì)大面積的半導(dǎo)體晶體材料進(jìn)行載流子壽命分布情況的掃描式測(cè)量，且結(jié)構(gòu)更加緊湊，探頭體積小。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人廣州市昆德科技有限公司;
- 發(fā)明人王昕;李俊生;馮小明;田蕾;
- 地址510650 廣東省廣州市天河區(qū)白沙水路123號(hào)東門三樓
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201420582020.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年10月09日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN204154617U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年02月11日
- 分類號(hào)G01N17/00(2006.01)I;G01N22/00(2006.01)I;
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