摘要：本實(shí)用新型公開了一種微波反射無(wú)接觸硅晶體載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀，包括箱體、立臂、探頭、樣品臺(tái)。探頭內(nèi)包括微波源、環(huán)形器、檢波器、寬帶放大器、脈沖光源驅(qū)動(dòng)器、脈沖激光器和微帶天線。寬帶放大器位于箱體內(nèi)，待測(cè)硅晶體放置在樣品臺(tái)上，微帶天線在硅晶體的正上方，微波源與環(huán)行器、微帶天線、檢波器之間通過(guò)同軸線連接，檢波器、寬帶放大器、數(shù)字示波器通過(guò)高頻電纜依次連接。所述脈沖激光器發(fā)射的激光傾斜照射在樣品上，微帶天線發(fā)射并接收微波信號(hào)，然后接收的微波信號(hào)被檢波器檢出并輸入到寬帶放大器輸入端，數(shù)字示波器動(dòng)態(tài)測(cè)量出待測(cè)樣品的載流子復(fù)合壽命值。本實(shí)用新型具有體積小、重量輕、功耗小、成本低的優(yōu)點(diǎn)。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人廣州市昆德科技有限公司;
- 發(fā)明人王昕;李俊生;馮小明;鐘雄;田蕾;
- 地址510650 廣東省廣州市天河區(qū)白沙水路123號(hào)東門三樓
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201120545038.9
- 申請(qǐng)時(shí)間2011年12月22日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN202433489U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年09月12日
- 分類號(hào)G01R31/26(2006.01)I;G01N22/00(2006.01)I;
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