摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種基于表面光電壓法的半導(dǎo)體材料參數(shù)測(cè)試儀及測(cè)試方法，該測(cè)試儀包括箱體、懸臂、測(cè)量探頭、樣品臺(tái)，測(cè)量探頭內(nèi)包括紅外激光器、感應(yīng)電極片。脈沖光源驅(qū)動(dòng)器位于箱體內(nèi)，待測(cè)半導(dǎo)體材料樣品放置在樣品臺(tái)上，測(cè)量探頭在待測(cè)樣品的正上方，感應(yīng)電極片與電荷放大器之間通過(guò)同軸電纜線(xiàn)連接，紅外激光器與脈沖光源驅(qū)動(dòng)器之間通過(guò)兩芯屏蔽線(xiàn)連接。該方法是：紅外激光器發(fā)射的脈沖光垂直照射在樣品上，感應(yīng)電極片接收樣品表面微弱光電壓產(chǎn)生的靜電荷，并傳送至電荷放大器的輸入端，經(jīng)信號(hào)處理電路處理后，由液晶顯示屏顯示待測(cè)樣品的導(dǎo)電類(lèi)型及電阻率/方阻數(shù)值。本發(fā)明具有體積小、重量輕、功耗小、成本低的優(yōu)點(diǎn)。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人廣州市昆德科技有限公司;
- 發(fā)明人王昕;馮小明;田蕾;
- 地址510650 廣東省廣州市天河區(qū)白沙水路123號(hào)東門(mén)三樓
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310404941.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年09月06日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103439641A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年12月11日
- 分類(lèi)號(hào)G01R31/26(2006.01)I;
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