摘要：本發(fā)明提供一種晶體管工藝波動檢測系統(tǒng)和檢測方法，其中，系統(tǒng)包括待測單元陣列、行列譯碼器、行列選擇器和振蕩器；待測單元陣列為由至少兩個待測單元組成的陣列；行列譯碼器分別與各待測單元連接，用于選定待測單元；行列選擇器分別與振蕩器和各待測單元中的待測晶體管連接，用于將選定的待測晶體管連接至振蕩器；振蕩器將待測晶體管的輸出信號轉(zhuǎn)換為脈沖信號，脈沖信號的頻率與待測晶體管的閾值電壓對應，以通過脈沖信號頻率的波動確定待測晶體管的閾值電壓的波動。本發(fā)明提供的晶體管工藝波動檢測系統(tǒng)和檢測方法能夠解決現(xiàn)有的半導體晶體管工藝波動的檢測方法較復雜的問題，實現(xiàn)了對晶體管工藝波動進行快速、簡便地檢測。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人龍芯中科技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人秦石強;張譯夫;楊梁;崔明艷;肖斌;
- 地址100095 北京市海淀區(qū)中關(guān)村環(huán)?？萍际痉秷@龍芯產(chǎn)業(yè)園2號樓
- 申請?zhí)?/b>CN201410409294.3
- 申請時間2014年08月19日
- 申請公布號CN105353288A
- 申請公布時間2016年02月24日
- 分類號G01R31/26(2014.01)I;
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