摘要：本實(shí)用新型公開了一種多晶硅制絨槽，包括：反應(yīng)槽(2)、外槽(1)、安裝在所述反應(yīng)槽(2)上的進(jìn)液管路、和安裝于所述外槽(1)上的溢流管路，所述反應(yīng)槽(2)部分置于所述外槽(1)中，所述進(jìn)液管路上設(shè)有調(diào)節(jié)閥，可對(duì)反應(yīng)槽(2)進(jìn)液量進(jìn)行控制，并通過在外槽(1)上設(shè)置液位傳感器，使外槽(1)的溢流量可根據(jù)外槽(1)的進(jìn)液量的大小自行進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)節(jié)。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人于皓潔;張琳;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2號(hào)樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201020629838.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2010年11月23日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN201864794U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2011年06月15日
- 分類號(hào)C30B33/10(2006.01)I;
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