摘要:本發(fā)明公開了一種鍍膜機,包括裝料機構(gòu)、真空爐、傳動輸送機構(gòu)、濺射靶組、真空抽吸組及控制中心,裝料機構(gòu)設(shè)置于真空爐頂端靠近邊緣處,裝料機構(gòu)的底部與真空爐連通;濺射靶組位于真空爐頂端且與裝料機構(gòu)相鄰處;傳動輸送機構(gòu)設(shè)置于真空爐內(nèi)且與濺射靶組對應(yīng),傳動輸送機構(gòu)的底端與真空爐的底部內(nèi)側(cè)可拆卸連接;真空抽吸組位于真空爐的外側(cè)并通過管道與真空爐相通;裝料機構(gòu)內(nèi)側(cè)壁上設(shè)置有一加熱系統(tǒng);傳動輸送機構(gòu)、濺射靶組、真空抽吸組及加熱系統(tǒng)均與控制中心電連接。本發(fā)明中的鍍膜機分三個階段抽真空,保證抽真空時不產(chǎn)生明顯壓差,避免粉末飛起;傳動輸送機構(gòu)一體設(shè)置便于拆卸替換或清理,還可根據(jù)粉體顆粒的大小進行合適的振動源的調(diào)節(jié)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京泰科諾科技有限公司;
- 發(fā)明人彭建;施戈;李長棟;田琳;
- 地址100000 北京市昌平區(qū)崔村鎮(zhèn)西辛峰村南6區(qū)1號
- 申請?zhí)?/b>CN201610773101.1
- 申請時間2016年08月30日
- 申請公布號CN106119800A
- 申請公布時間2016年11月16日
- 分類號C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;




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