摘要：本實(shí)用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)式圓柱形磁控靶，具有圓柱形靶材和空心雙軸磁流體，圓柱形靶材一端安裝在空心雙軸磁流體的外軸上，圓柱形靶材另一端設(shè)有封蓋；圓柱形靶材內(nèi)部設(shè)有極靴及磁鐵、冷卻水和電極接線組件，極靴及磁鐵、冷卻水和電極接線組件一端安裝在空心雙軸磁流體的內(nèi)軸上，另一端固定在封蓋上，空心雙軸磁流體的外軸與電機(jī)通過傳動(dòng)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)連接；空心雙軸磁流體的內(nèi)軸固定在設(shè)備工作臺(tái)的臺(tái)板上。本實(shí)用新型具有膜厚均勻、性能穩(wěn)定和靶材利用率高(可達(dá)到75％以上)等特點(diǎn)，體積小，適合實(shí)驗(yàn)室使用、適合單人操作，提高了沉積薄膜的均勻性。
- 專利類型實(shí)用新型
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