摘要：本實(shí)用新型涉及一種微球沉積樣品架裝置，具有由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的樣品盤，還具有壓電陶瓷振動(dòng)器，壓電陶瓷振動(dòng)器設(shè)于真空室中，安裝于步進(jìn)電機(jī)輸出端的樣品架上，樣品盤固定在壓電陶瓷振動(dòng)器上；還具有水平敲擊組件，設(shè)于樣品架的側(cè)邊。本實(shí)用新型在樣品盤上加頻率控制和振動(dòng)功能，這樣保證樣品不僅僅在轉(zhuǎn)動(dòng)而且還有跳動(dòng)，保證沉積均勻性。
- 專利類型實(shí)用新型
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- 發(fā)明人慈連鰲;
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201520494086.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年07月09日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN204779801U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年11月18日
- 分類號(hào)C23C16/458(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I;
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