摘要：本發(fā)明公開了一種基于行星流化的粉體原子層沉積裝置，包括電機(jī)、反應(yīng)腔、行星架、夾持器和輸氣管路，其中，電機(jī)與行星架相連，行星架上安裝有中心輪和若干個(gè)行星輪；電機(jī)用于帶動(dòng)中心輪和行星輪旋轉(zhuǎn)；夾持器位于反應(yīng)腔內(nèi)部，用于承載粉體；該夾持器還與行星輪相連，在行星輪的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)；輸氣管路用于向反應(yīng)腔中輸入反應(yīng)氣體或載氣。本發(fā)明能夠?qū)A持器內(nèi)的粉體顆粒提供離心流化作用，同時(shí)結(jié)合軸向的氣流流化作用，克服了離心流化床沿軸向方向分布不均勻的狀況以及改善了傳統(tǒng)垂直流化床剪切力過小的特點(diǎn)，能有效提高粉體包覆率和均勻性，一次性能夠?qū)Υ罅糠垠w進(jìn)行包覆，提高粉體包覆效率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人陳蓉;竹鵬輝;段晨龍;巴偉明;單斌;文艷偉;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510953058.2
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年12月17日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105386011A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年03月09日
- 分類號(hào)C23C16/458(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/442(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
