摘要：本發(fā)明公開一種調(diào)節(jié)式布?xì)庀到y(tǒng)及包含其的磁控濺射鍍膜裝置，包括至少兩根平行設(shè)置的布?xì)夤?，每根布?xì)夤苌暇O(shè)置流量計(jì)，相鄰兩根布?xì)夤苌襄e(cuò)列設(shè)置吹氣部，吹氣部是由多個(gè)規(guī)格相同的均勻排列的氣孔構(gòu)成，每個(gè)氣孔沿布?xì)夤艿膹较蜷_設(shè)，多個(gè)氣孔在布?xì)夤苎仄漭S向依次布置。通過將布?xì)庀到y(tǒng)設(shè)置為至少兩根布?xì)夤埽⒃谙噜弮筛細(xì)夤苌襄e(cuò)列設(shè)置吹氣部，可以使布?xì)庀到y(tǒng)吹出的氣體能均勻的到達(dá)靶面，保證膜層均勻；通過在布?xì)夤苌显O(shè)置流量計(jì)，使氣體的流量可實(shí)時(shí)的調(diào)節(jié)，即根據(jù)靶面距待鍍膜物體表面的距離、鍍膜厚度的不同，精確的調(diào)節(jié)氣體的流量，并且能使各個(gè)布?xì)夤苌洗党龅臍怏w的流量相等，達(dá)到實(shí)時(shí)控制、精確鍍膜的目的。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人廣東志成冠軍集團(tuán)有限公司;
- 發(fā)明人陳宇;
- 地址523000 廣東省東莞市塘廈鎮(zhèn)田心工業(yè)區(qū)廣東志成冠軍集團(tuán)有限公司
- 申請?zhí)?/b>CN201210531667.5
- 申請時(shí)間2012年12月10日
- 申請公布號CN103014642A
- 申請公布時(shí)間2013年04月03日
- 分類號C23C14/35(2006.01)I;
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