摘要：本發(fā)明公開了一種工藝管排氣裝置，將半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備工藝管的排氣口與連通排氣管路的排氣管采用法蘭相對接，法蘭連接面之間具有間隙，并設(shè)有密封圈密封，在一側(cè)法蘭的連接面位于密封圈與法蘭內(nèi)壁之間處設(shè)有吹氣口，吹氣口通過法蘭本體內(nèi)的吹氣腔道連通至吹氣進氣口，二側(cè)法蘭通過夾緊調(diào)節(jié)機構(gòu)相固連；冷卻吹掃氣體經(jīng)由吹氣進氣口、吹氣腔道、吹氣口進入法蘭連接面之間的間隙，起到阻隔高溫尾氣、冷卻密封圈及調(diào)節(jié)排氣管內(nèi)部溫度和壓力的作用，此外，在工藝處理前，通過氣體吹掃，還可以達到凈化排氣管路的效果。本發(fā)明具有密封性好、提高耐溫性、結(jié)構(gòu)設(shè)計簡單和具有可調(diào)性等顯著特點。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人徐冬;宋新豐;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201410200372.9
- 申請時間2014年05月13日
- 申請公布號CN103985632B
- 申請公布時間2016年09月07日
- 分類號H01L21/324(2006.01)I;
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