摘要：本發(fā)明提供了一種可快速風(fēng)冷的熱處理裝置，包括爐體，所述爐體設(shè)有內(nèi)壁、外壁、連接板，所述內(nèi)壁與所述外壁的底部設(shè)有入風(fēng)口，所述連接板用于連接所述內(nèi)壁及所述外壁，所述連接板上設(shè)有若干供氣流通過的通孔；所述爐體的頂部設(shè)有可拆卸的排風(fēng)裝置，所述排風(fēng)裝置上設(shè)有至少一個供氣流通過的排風(fēng)口，所述入風(fēng)口與所述排風(fēng)口連通。本發(fā)明通過在爐體上設(shè)有內(nèi)外壁用于通風(fēng)的夾層，內(nèi)壁與外壁的底部不連接成為風(fēng)的入口，在爐體的頂部設(shè)置可拆卸的排風(fēng)裝置。在爐體降溫的過程，向內(nèi)外壁的夾層中通入冷風(fēng)，排送至排風(fēng)口，起到加快爐體降溫的效果。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人董金衛(wèi);孫少東;徐冬;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201410058258.7
- 申請時間2014年02月20日
- 申請公布號CN103762164A
- 申請公布時間2014年04月30日
- 分類號H01L21/324(2006.01)I;
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