摘要：本發(fā)明公開了<311>直拉硅片的一種熱處理方法。所述熱處理方法包括以下步驟：(1)在氧氣氣氛下，將直拉硅片在1200～1250℃下熱處理5～10分鐘；(2)在保護(hù)性氣體氣氛下，將經(jīng)步驟(1)處理的直拉硅片以50～60℃/秒的升溫速度加熱到1200～1250℃并保持60秒，然后以50～80℃/秒的冷卻速度冷卻到600℃，再自然冷卻；(3)在保護(hù)性氣體氣氛下，將經(jīng)步驟(2)處理的直拉硅片在800℃下熱處理4小時(shí)；(4)在保護(hù)性氣體氣氛下，將經(jīng)步驟(3)處理的直拉硅片在1000℃下熱處理8小時(shí)。本發(fā)明方法能有效消除COP，降低<311>硅片近表面的缺陷數(shù)，降低表面平均微粗糙度。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人浙江大學(xué);
- 發(fā)明人馬向陽(yáng);蔣立偉;楊德仁;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201610304862.2
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年05月09日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105977152A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年09月28日
- 分類號(hào)H01L21/324(2006.01)I;
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