摘要：本發(fā)明提供一種模塊化硅片清洗系統(tǒng)，其包括：傳片區(qū)、工藝區(qū)和化學(xué)藥液分配區(qū)，所述傳片區(qū)包括第一機(jī)械手、硅片盒、第一主體骨架以及分別設(shè)于第一主體骨架上的第一機(jī)械手直線運(yùn)動(dòng)單元和硅片裝載埠；所述工藝區(qū)包括第二機(jī)械手、第二主體骨架、以及分別設(shè)于第二主體骨架上的第二機(jī)械手直線運(yùn)動(dòng)單元、工藝清洗腔室；所述第二主體骨架與第一主體骨架可拆卸連接；所述化學(xué)藥液分配區(qū)包括第三主體骨架和設(shè)于第三主體骨架上的輸液管路，所述第三主體骨架與第二主體骨架可拆卸連接。本發(fā)明提供的模塊化硅片清洗系統(tǒng)由于各組成部分能夠獨(dú)立地安裝及拆卸，從而使該硅片清洗系統(tǒng)功能多樣，能夠滿(mǎn)足各種不同的清洗工藝，且能夠?qū)崿F(xiàn)更復(fù)雜的功能。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人朱攀;賈星杰;趙宏宇;裴立坤;徐俊成;
- 地址100015 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210553009.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年12月18日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103028568A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年04月10日
- 分類(lèi)號(hào)B08B3/08(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;
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