摘要：本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備的微環(huán)境排氣控制裝置，將氣動(dòng)閥的氣缸通過(guò)一開口部具有水平外延裙邊的倒置環(huán)形凹槽形氣缸支撐體與一上集氣盒連接，一下集氣盒連通微環(huán)境，開有支排排氣孔，上集氣盒開有設(shè)備主排排氣孔和氣動(dòng)閥閥體進(jìn)入孔，上、下集氣盒的連接面開有貫通的微環(huán)境的主排排氣孔，閥體進(jìn)入孔與微環(huán)境主排排氣孔同心設(shè)置；氣缸支撐體的凹槽裙邊與上集氣盒閥體進(jìn)入孔的周圍之間設(shè)有第一密封件，閥體下端面設(shè)有第二密封件，通過(guò)閥體在上集氣盒內(nèi)的上下移動(dòng)，壓緊二個(gè)密封件，實(shí)現(xiàn)有效密封，并具有閥體定位的功能。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉、維護(hù)省力，可防止泄漏的發(fā)生。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人劉紅麗;王麗榮;宋新豐;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201420013527.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年01月09日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203641568U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年06月11日
- 分類號(hào)F16K11/04(2006.01)I;F16K31/12(2006.01)I;
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