摘要：本發(fā)明公開了一種半導體設備的微環(huán)境排氣控制裝置，將氣動閥的氣缸通過一開口部具有水平外延裙邊的倒置環(huán)形凹槽形氣缸支撐體與一上集氣盒連接，一下集氣盒連通微環(huán)境，開有支排排氣孔，上集氣盒開有設備主排排氣孔和氣動閥閥體進入孔，上、下集氣盒的連接面開有貫通的微環(huán)境的主排排氣孔，閥體進入孔與微環(huán)境主排排氣孔同心設置；氣缸支撐體的凹槽裙邊與上集氣盒閥體進入孔的周圍之間設有第一密封件，閥體下端面設有第二密封件，通過閥體在上集氣盒內的上下移動，壓緊二個密封件，實現(xiàn)有效密封，并具有閥體定位的功能。本發(fā)明結構簡單、成本低廉、維護省力，可防止泄漏的發(fā)生。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人劉紅麗;王麗榮;宋新豐;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201410009304.4
- 申請時間2014年01月09日
- 申請公布號CN103711937A
- 申請公布時間2014年04月09日
- 分類號F16K11/04(2006.01)I;F16K31/12(2006.01)I;
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