摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基于新型傳感器的流量調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括分流器，分流器的分流支路上設(shè)有流量傳感器，流量傳感器為MEMS流量傳感器，MEMS流量傳感器內(nèi)設(shè)有溫度檢測(cè)單元。響應(yīng)時(shí)間快、重復(fù)性好、成本低，當(dāng)需要涉及氣體單一、精度要求低、氣壓要求低、響應(yīng)時(shí)間快的情況時(shí)，可以大大降低成本、增大使用范圍。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人吳薇;胡蕾;黃文填;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201120462769.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2011年11月18日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN202404454U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年08月29日
- 分類號(hào)G05D7/06(2006.01)I;
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