摘要：本發(fā)明公開了一種合流式氣體流量控制裝置，包括控制電路板、流量檢測(cè)器、電磁閥模塊；所述流量控制器通過氣管與電磁閥模塊的第一進(jìn)氣口相連；所述控制電路板通過導(dǎo)線與流量檢測(cè)器和電磁閥模塊相連；所述流量檢測(cè)器的進(jìn)氣口進(jìn)入待測(cè)氣流，流量檢測(cè)器將流量信號(hào)傳給控制電路板；所述控制電路板向電磁閥模塊發(fā)出控制信號(hào)；所述電磁閥模塊在控制信號(hào)的作用下調(diào)整閥門角度，從而控制流過流量檢測(cè)器的氣流；本發(fā)明通過控制電路板、流量檢測(cè)器、電磁閥模塊的配合使用，能夠降低產(chǎn)品成本，簡(jiǎn)化加工工藝，減小流量變小對(duì)真空泵產(chǎn)生負(fù)荷，延長(zhǎng)真空泵的使用壽命；同時(shí)用于氣體混合。
- 專利類型發(fā)明專利
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- 發(fā)明人左德慶;
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410311402.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年07月02日
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- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年11月12日
- 分類號(hào)G05D7/06(2006.01)I;
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