摘要：本實用新型公開了一種磁控濺射鍍膜設備，包括抽真空機組、與該抽真空機組連接的鍍膜箱，所述磁控濺射鍍膜設備還包括鉸接于鍍膜箱左側(cè)的左門蓋、鉸接于鍍膜箱右側(cè)的右門蓋，所述左門蓋與所述右門蓋均設有工件裝夾裝置。該磁控濺射鍍膜設備的一個門蓋關閉進行抽真空以及磁控濺射鍍膜的過程的同時，可以在另一個門蓋上對已經(jīng)完成鍍膜的工件進行拆卸并裝夾待鍍膜的工件，使得整機工作效率大大提高，既具有平面濺射靶的鍍膜功能又具有旋轉(zhuǎn)圓柱濺射靶的鍍膜功能；其中工件裝夾裝置具有復合旋轉(zhuǎn)功能，使得鍍膜過程更加均勻，得到更好的鍍膜效果。
- 專利類型實用新型
- 申請人廣東中環(huán)真空設備有限公司;
- 發(fā)明人王健文;李學歐;蔡東鋒;梁凱基;李勁川;
- 地址526020 廣東省肇慶市廠排街一巷60號
- 申請?zhí)?/b>CN200920058010.5
- 申請時間2009年06月08日
- 申請公布號CN201437550U
- 申請公布時間2010年04月14日
- 分類號C23C14/35(2006.01)I;
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