摘要：本實(shí)用新型涉及一種具有俯仰功能的硅片盒平臺(tái)，其特征在于：它包括兩定位軸，所述兩定位軸上連接有一護(hù)板框架，所述護(hù)板框架通過一轉(zhuǎn)軸機(jī)構(gòu)連接一翻轉(zhuǎn)板的底部前端；所述護(hù)板框架內(nèi)的兩定位軸上連接一固定板，在所述固定板上連接一由驅(qū)動(dòng)裝置連接的曲柄連桿機(jī)構(gòu)，所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)的輸出端通過一轉(zhuǎn)塊連接所述翻轉(zhuǎn)板的底部后端，所述翻轉(zhuǎn)板的頂部連接一硅片盒，當(dāng)所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)的曲柄在0～180°范圍內(nèi)往復(fù)間歇擺動(dòng)時(shí)，連接所述硅片盒進(jìn)行仰俯擺動(dòng)。本實(shí)用新型的核心機(jī)構(gòu)—曲柄聯(lián)桿機(jī)構(gòu)和一轉(zhuǎn)軸機(jī)構(gòu)的設(shè)置具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，即能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)俯仰，又能實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)俯仰，解決了已有技術(shù)中存在的難題。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人陳百捷;北京自動(dòng)化技術(shù)研究院;
- 發(fā)明人陳百捷;徐偉新;姚廣軍;
- 地址100176北京市亦莊經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)大雄郁金香20號(hào)樓B-102
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200820123233.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2008年10月24日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN201319371Y
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2009年09月30日
- 分類號(hào)H01L21/673(2006.01)I;
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