摘要：本發(fā)明公開了一種工作臺(tái)自適應(yīng)調(diào)平裝置，包括繞動(dòng)機(jī)構(gòu)和彈性機(jī)構(gòu)，所述繞動(dòng)機(jī)構(gòu)包括調(diào)平板，所述彈性機(jī)構(gòu)包括彈性支座、彈性機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)軸、多個(gè)彈性機(jī)構(gòu)彈性部件，所述多個(gè)彈性機(jī)構(gòu)部件分別設(shè)置于所述彈性支座的不同受力位置，所述調(diào)平板在受力的狀態(tài)下對(duì)所述彈性支座上對(duì)應(yīng)的某受力位置的彈性機(jī)構(gòu)彈性部件施加壓力，所述彈性支座上的所述某受力位置以外的受力位置可繞所述彈性機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)軸朝所述調(diào)平板轉(zhuǎn)動(dòng)，并通過對(duì)應(yīng)的彈性機(jī)構(gòu)彈性部件對(duì)所述調(diào)平板施加彈力。本發(fā)明其體積小，質(zhì)量輕，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，涉及接觸式光刻機(jī)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，對(duì)手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)定位及自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)定位均適用。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人深圳市矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司;
- 發(fā)明人韋日文;王勝利;胡泓;
- 地址518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道中心城龍城工業(yè)園路3號(hào)特發(fā)龍飛E棟創(chuàng)業(yè)大廈二樓
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201610378576.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年05月31日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN106066580A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年11月02日
- 分類號(hào)G03F7/20(2006.01)I;
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