摘要：本發(fā)明公開了一種精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置，包括增壓泵；初級熱交換器，其浸液入口與增壓泵出口連通，浸液在其中進行熱交換，實現(xiàn)浸液溫度的初級調(diào)控；次級熱交換器，其浸液入口與初級熱交換器浸液出口連通，浸液在其中進行再次熱交換，實現(xiàn)浸液溫度的次級調(diào)控；流量伺服閥，其入口與初級熱交換器浸液出口連通，與次級熱交換器形成并聯(lián)，用于調(diào)節(jié)進入次級熱交換器的浸液流量。通過協(xié)調(diào)控制進入初級熱交換器和次級熱交換器的冷媒流量，并結(jié)合流量伺服閥對進入次級熱交換器的浸液流量的調(diào)節(jié)，可實現(xiàn)對浸液溫度的兩級調(diào)控，從而獲得溫度穩(wěn)定且精確的浸液以用于浸沒式光刻工藝。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人李小平;紀(jì)輝強;石文中;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201410199568.0
- 申請時間2014年05月12日
- 申請公布號CN103969965B
- 申請公布時間2015年11月18日
- 分類號G03F7/20(2006.01)I;G05D23/30(2006.01)I;
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