摘要：本發(fā)明公開了一種利用同步輻射大面積快速制備顏色濾波器的方法及裝置。本發(fā)明利用同步輻射軟X射線照射四光柵組，通過擋板濾去其他衍射級次，只保留一級衍射條紋形成干涉圖樣，對玻璃基底上的光刻膠曝光形成周期性二維孔狀微納結(jié)構(gòu)，通過精確控制樣品臺(tái)的二維平移，實(shí)現(xiàn)快速大面積拼接曝光。后續(xù)用電子束蒸鍍技術(shù)將金屬蒸鍍于孔中，并通過超聲清洗機(jī)剝離光刻膠實(shí)現(xiàn)玻璃基底上二維金屬圓柱微納結(jié)構(gòu)陣列的顏色濾波器制備。本發(fā)明具有精度高、速度快、裝置結(jié)構(gòu)簡單、易于操作等優(yōu)點(diǎn)。制備出的濾波器具有大面積、偏振無關(guān)、超高透射率等特點(diǎn)，在色彩合成圖像顯示、圖像傳感器、數(shù)碼攝像機(jī)、投影儀等領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用中具有重要作用。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人浙江大學(xué);
- 發(fā)明人張冬仙;吳青峻;胡曉琳;史斌;孫理斌;楊樹敏;王連升;趙俊;薛超凡;吳衍青;邰仁忠;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號
- 申請?zhí)?/b>CN201510259584.9
- 申請時(shí)間2015年05月21日
- 申請公布號CN104880914B
- 申請公布時(shí)間2017年03月01日
- 分類號G03F7/20(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I;
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