摘要：本發(fā)明公開了一種同步裝置、掃描式激光成像系統(tǒng)及同步方法，其中，所述同步裝置包括：定位模塊、所述定位模塊包括平臺控制器和定位平臺，所述定位平臺包括同步軸、步進(jìn)軸及升降軸；同步模塊、所述同步模塊接收所述平臺控制器輸入的位置脈沖信號，并對所述位置脈沖信號加以處理以輸出同步信號，所述同步模塊還接收所述控制模塊的控制命令；以及控制模塊、所述控制模塊與所述定位模塊及所述同步模塊相連接，以控制所述同步模塊及所述平臺控制器。通過采用同步信號觸發(fā)方式，有效補償系統(tǒng)的脈沖誤差和脈沖殘差，提高掃描圖像的絕過位置精度，減少圖像大小誤差。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人蘇州微影光電科技有限公司;
- 發(fā)明人俞慶平;謝榮先;胡傳武;張寅;張國龍;
- 地址215636 江蘇省蘇州市張家港市大新鎮(zhèn)海壩路蘇州微影光電科技有限公司
- 申請?zhí)?/b>CN201310419259.5
- 申請時間2013年09月13日
- 申請公布號CN103472685A
- 申請公布時間2013年12月25日
- 分類號G03F7/20(2006.01)I;
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