摘要：本實用新型公開了一種直寫式曝光系統(tǒng)中的掃描臺，包括水平設(shè)置的矩形臺面板，所述臺面板上方設(shè)置有兩根相互平行且平行于臺面板的壓板橫梁，兩壓板橫梁均橫跨臺面板，所述臺面板的側(cè)面設(shè)置有與壓板橫梁的各個端部相對應(yīng)的安裝座，該安裝座與臺面板相對固定，各個安裝座上分別設(shè)置有一個升降驅(qū)動裝置，所述壓板橫梁的兩端分別與對應(yīng)安裝座上的升降驅(qū)動裝置相連接，同一壓板橫梁兩端的升降驅(qū)動裝置同步驅(qū)動該壓板橫梁上下移動。在傳統(tǒng)的掃描臺臺面板上增加了兩根壓板橫梁，利用兩根壓板橫梁或安裝在壓板橫梁上的壓板將軟性曝光板有翹曲現(xiàn)象的邊壓住，這樣在曝光軟性曝光板的時候，就可以避免因軟性曝光板的邊翹曲引起的曝光質(zhì)量不好的問題了。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州微影光電科技有限公司;
- 發(fā)明人王友車;張國龍;吳斌;
- 地址215636 江蘇省蘇州市張家港市大新鎮(zhèn)海壩路蘇州微影光電科技有限公司
- 申請?zhí)?/b>CN201520474307.5
- 申請時間2015年07月03日
- 申請公布號CN205121156U
- 申請公布時間2016年03月30日
- 分類號G03F7/20(2006.01)I;
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