摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種對(duì)薄層材料進(jìn)行無(wú)損測(cè)量的方塊電阻測(cè)試儀及其測(cè)試方法，該測(cè)試儀包括紅寶石四探針頭、測(cè)試架、主機(jī)、測(cè)量控制系統(tǒng)、測(cè)試電壓調(diào)節(jié)器和恒流源通斷切換開(kāi)關(guān)，主機(jī)內(nèi)包括恒流源電路和電源電路，測(cè)試電壓調(diào)節(jié)器設(shè)置在電源電路和四探針頭之間，用于在測(cè)試開(kāi)始前調(diào)節(jié)四探針頭中兩個(gè)外探針之間的測(cè)試電壓。恒流源通斷切換開(kāi)關(guān)設(shè)置在恒流源電路和四探針頭之間，用于控制在探針針尖完全壓觸在薄層材料表面后才接通恒流源電路。本發(fā)明還公開(kāi)了基于上述測(cè)試儀的測(cè)試方法。本發(fā)明可以調(diào)節(jié)1、4探針的測(cè)試電壓，避免發(fā)生高壓擊穿，紅寶石四探針頭有恰當(dāng)曲率半徑和壓力，探針壓力可在25-250g的較大范圍內(nèi)變化，能夠廣泛應(yīng)用于測(cè)量各種新型薄層材料。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
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- 發(fā)明人王昕;茍永江;龔紅玉;
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310444506.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年09月23日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103472308B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年06月29日
- 分類(lèi)號(hào)G01R27/14(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I;
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