摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種自動(dòng)化測(cè)量半導(dǎo)體電阻率及賽貝克系數(shù)的測(cè)試方法及系統(tǒng)，其中方法包括以下步驟：將待測(cè)樣品置于真空環(huán)境內(nèi)，并對(duì)待測(cè)樣品的兩端進(jìn)行加熱，并控制兩端的溫度差；間隔發(fā)送PID曲線，該P(yáng)ID曲線包括三個(gè)溫度點(diǎn)：初始溫度點(diǎn)，下一個(gè)待測(cè)溫度點(diǎn)和預(yù)設(shè)的最終測(cè)試溫度點(diǎn)；該P(yáng)ID曲線確定原則：溫度測(cè)試間隔???????????????????????????????????????????????![]()
T=By-Ay，Ay為初始溫度，By為下一個(gè)待測(cè)試溫度；根據(jù)該P(yáng)ID曲線采集待測(cè)樣品的與電阻率和賽貝克系數(shù)相關(guān)的物理量數(shù)據(jù)，直到PID曲線的下一個(gè)待測(cè)溫度達(dá)到預(yù)設(shè)的最終測(cè)試溫度；根據(jù)采集的物理量數(shù)據(jù)計(jì)算得到電阻率和賽貝克系數(shù)。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
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