摘要：本發(fā)明公開了一種對(duì)薄層材料進(jìn)行無損測量的方塊電阻測試儀及其測試方法，該測試儀包括紅寶石四探針頭、測試架、主機(jī)、測量控制系統(tǒng)、測試電壓調(diào)節(jié)器和恒流源通斷切換開關(guān)，主機(jī)內(nèi)包括恒流源電路和電源電路，測試電壓調(diào)節(jié)器設(shè)置在電源電路和四探針頭之間，用于在測試開始前調(diào)節(jié)四探針頭中兩個(gè)外探針之間的測試電壓。恒流源通斷切換開關(guān)設(shè)置在恒流源電路和四探針頭之間，用于控制在探針針尖完全壓觸在薄層材料表面后才接通恒流源電路。本發(fā)明還公開了基于上述測試儀的測試方法。本發(fā)明可以調(diào)節(jié)1、4探針的測試電壓，避免發(fā)生高壓擊穿，紅寶石四探針頭有恰當(dāng)曲率半徑和壓力，探針壓力可在25-250g的較大范圍內(nèi)變化，能夠廣泛應(yīng)用于測量各種新型薄層材料。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人廣州市昆德科技有限公司;
- 發(fā)明人王昕;茍永江;龔紅玉;
- 地址510650 廣東省廣州市天河區(qū)白沙水路123號(hào)東門三樓
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310444506.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年09月23日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103472308A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年12月25日
- 分類號(hào)G01R27/14(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I;
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