摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種精確測(cè)定薄膜材料膜厚方向電阻率的方法及其裝置，在絕緣襯底上自下而上依次沉積第一條形導(dǎo)電金屬薄膜、第一絕緣層、待測(cè)薄膜、第二絕緣層及第二條形導(dǎo)電金屬薄膜，形成待測(cè)樣品，其中第一絕緣層與第二絕緣層在相同位置分別留有大小位置完全相同的導(dǎo)電孔，使第一條形導(dǎo)電金屬薄膜、第二條形導(dǎo)電金屬薄膜與待測(cè)薄膜通過(guò)上下兩導(dǎo)電孔接觸導(dǎo)通。采用電流通路與電壓測(cè)試端分離的方法，避免電路中其它環(huán)節(jié)電阻影響；對(duì)同一電流值進(jìn)行正反兩次測(cè)量，得到一系列對(duì)應(yīng)不同電流值下導(dǎo)電孔兩端電阻值，均值后再結(jié)合待測(cè)薄膜與兩層導(dǎo)電金屬薄膜的接觸電阻，計(jì)算得到待測(cè)薄膜膜厚方向的凈電阻值，進(jìn)而精確求得待測(cè)薄膜膜厚方向的電阻率。
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