摘要：一種真空陰極電弧蒸發(fā)源的氣動(dòng)式引弧裝置，包括引弧針、活塞延伸桿、活塞組件、密封絕緣件、動(dòng)密封、動(dòng)密封壓墊、活塞組件支撐件，所述動(dòng)密封壓墊被所述活塞組件支撐件壓緊在所述動(dòng)密封上，還包括金屬的引弧器底座，所述引弧器底座通過(guò)其中部套孔套裝在所述活塞延伸桿上并與電弧蒸發(fā)源連接法蘭固定連接，所述密封絕緣件夾裝在所述引弧器底座與電弧蒸發(fā)源連接法蘭之間，所述引弧器底座后端底面上具有伸入所述密封絕緣件與所述活塞延伸桿之間、用于隔開它們的凸起，所述活塞組件支撐件固定在所述引弧器底座的前端面上，所述動(dòng)密封嵌裝在所述引弧器底座的前端面內(nèi)。本發(fā)明能減少不良品率，降低生產(chǎn)成本。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發(fā)明人李志榮;李志方;羅志明;李秋霞;
- 地址523838 廣東省東莞市大嶺山顏屋村第四工業(yè)區(qū)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210514559.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年12月04日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103114270A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年05月22日
- 分類號(hào)C23C14/32(2006.01)I;
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