摘要：本發(fā)明公開了一種組合磁場的矩形平面陰極電弧蒸發(fā)源，包括一矩形靶材平板，在靶材平板的正下方、間隔所述靶材平板一段距離處設(shè)有一中軸永磁體、四個端角永磁體和至少兩個長圓形電磁線圈，所述電磁線圈沿所述靶材平板邊緣平行環(huán)套設(shè)置且通過導線連接可調(diào)直流電源，其四個端角處分別設(shè)置有一所述端角永磁體，其中，最內(nèi)側(cè)的電磁線圈的內(nèi)側(cè)、沿其長軸方向設(shè)有所述中軸永磁體，所述中軸永磁體、端角永磁體和電磁線圈所形成的磁場的極性一致。本發(fā)明提供了一種無論磁化電流是否變化都能實現(xiàn)靶材利用率高、形成的膜層細膩的陰極電弧蒸發(fā)源。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發(fā)明人李志榮;李志方;羅志明;李秋霞;
- 地址523838 廣東省東莞市大嶺山顏屋村第四工業(yè)區(qū)
- 申請?zhí)?/b>CN201110425157.5
- 申請時間2011年12月19日
- 申請公布號CN102534513B
- 申請公布時間2014年04月16日
- 分類號C23C14/32(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I;
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