摘要：本發(fā)明屬于物理氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種電磁加速聯(lián)合等離子體輔助增強(qiáng)電子束物理氣相沉積系統(tǒng)。在真空室內(nèi)設(shè)置上極板和下極板，在上極板的下方位置安裝試樣，在試樣和下極板之間設(shè)置柵極；在沉積料棒周?chē)O(shè)置環(huán)形的氣體管道，在氣體管道的內(nèi)圈設(shè)置的冷卻水管道；其中，上極板和下極板為正電極，柵極為負(fù)電極。該設(shè)備能夠使被蒸發(fā)的氣態(tài)材料具有一定的沉積速率和較好的指向性，從而能夠有效地提高電子束物理氣相沉積技術(shù)的沉積速率和沉積效率，進(jìn)而提高涂層與基體的結(jié)合強(qiáng)度，另外，對(duì)于多坩堝條件下的沉積，如果為了獲得某些特定區(qū)域的沉積涂層或者為了獲得復(fù)合涂層，將會(huì)同過(guò)磁場(chǎng)改變粒子的行進(jìn)路線，從而更好的沉積效果。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人華北電力大學(xué);
- 發(fā)明人張東博;
- 地址102206 北京市昌平區(qū)朱辛莊華北電力大學(xué)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201110326518.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2011年10月24日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102383096B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年07月09日
- 分類號(hào)C23C14/32(2006.01)I;
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