摘要：本發(fā)明公開了一種多層結(jié)構(gòu)的納米復(fù)合刀具涂層及其制備方法。一種多層結(jié)構(gòu)的納米復(fù)合刀具涂層，其特征在于，包括依次沉積于刀具基體表面的CrN結(jié)合層、AlTiN過渡層、AlTiN/TiSiN支撐層和TiSiN功能層；所述CrN結(jié)合層的厚度為0.1～0.5μm；所述AlTiN過渡層的厚度為0.5～3μm；所述AlTiN/TiSiN支撐層為TiSiN和AlTiN周期性交替沉積結(jié)構(gòu)，每一周期TiSiN和AlTiN交替沉積厚度稱為調(diào)制周期且為0.1～1μm，交替沉積次數(shù)為1～30次；所述TiSiN功能層厚度為0.5～3μm。上述多層結(jié)構(gòu)的納米復(fù)合刀具涂層具備較高硬度及很好耐磨性能。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人科匯納米技術(shù)（深圳）有限公司;廣東工業(yè)大學(xué);
- 發(fā)明人郭光宇;王成勇;陳金海;鐘偉強(qiáng);鄭李娟;
- 地址518000 廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道橋頭社區(qū)重慶路2號(hào)第2棟第二層廠房
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510549033.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年08月31日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105112858A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年12月02日
- 分類號(hào)C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C28/04(2006.01)I;
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